氮化铟可调谐导模共振滤波器的仿真研究

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基于严格耦合波理论和等效介质理论,仿真分析了1258~1335nm波段的氮化铟亚波长凸型光栅导模共振滤波器。利用仿真结果讨论了占空比、光栅深度和入射角度对滤波器导模共振效应的影响。结合入射角度影响反射的特性,利用光栅与平板电容致动器集成制作了可调滤波器。入射角度θ变化0°~11.73°,其半高线宽(FWHM)不高于1nm,实现了78nm的可调谐范围。
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