TiO2—K2O—LiZnVO4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangxun416

【摘要】

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采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成，化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻

【作者】

：

应皆荣万春荣

【机构】

：

清华大学核能技术设计研究院

【出处】

：

仪表技术与传感器

【发表日期】

：

1999年1期

【关键词】

：

溶胶凝胶法陶瓷薄膜湿敏元件湿敏性能传感器 Solgel Method Humidity Sensor Ceramics TiO2 Thin Film

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采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成，化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗一湿度特性及电容－湿度特性，感湿特性曲线线性良好。元件还具有灵敏度高，滞后小，响应快，长期稳定性好等优点

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