【摘 要】
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分析了利用多次外延／离子注入工艺方法制造的高压CoolMOS（〉650V）的准饱和现象，与普通的低压CoolMOS的准饱和现象进行了对比。结果发现，准饱和首先发生在N-Pillar的底部，分析了这种
【机 构】
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东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心
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分析了利用多次外延／离子注入工艺方法制造的高压CoolMOS（〉650V）的准饱和现象，与普通的低压CoolMOS的准饱和现象进行了对比。结果发现，准饱和首先发生在N-Pillar的底部，分析了这种现象产生的原因。为了改善器件的准饱和效应，提出一种简单的优化结构，在几乎不改变器件的导通电阻和击穿电压的前提下，使器件的开态准饱和电流提高了约40％，并且利用仿真软件Sentaurus Device进行了模拟仿真。
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