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介绍了利用北京正负对撞机（ＢＥＰＣ）同步辐射Ｘ射线光刻装置，进行ＬＩＧＡ工艺技术深结构光刻实验研究，详细论述了Ｘ射线光刻使用的掩模制备过程及掩模镀金工艺，在国内最早曝光出直径为４００μｍ、厚为２７－４５μｍ的三维立体齿轮胶图形。
同步辐射X射线光刻掩模镀金工艺的研究
【摘 要】
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介绍了利用北京正负对撞机（ＢＥＰＣ）同步辐射Ｘ射线光刻装置，进行ＬＩＧＡ工艺技术深结构光刻实验研究，详细论述了Ｘ射线光刻使用的掩模制备过程及掩模镀金工艺，在国内最早曝光出直径为４００μｍ、厚为２７－４５μｍ的三
【机 构】
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长春光机所微型机械工程研究室
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1996年12期
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