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本文从偏振光干涉和正性光刻胶版的电子显微照片的分析中找到了噪声的源泉和提出了解决办法，有较大的实用价值。
正性光刻胶的噪声抑制
【摘 要】
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本文从偏振光干涉和正性光刻胶版的电子显微照片的分析中找到了噪声的源泉和提出了解决办法，有较大的实用价值。
【机 构】
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华南师范大学量子电子学研究所
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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1995年3期
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