【摘 要】
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本文研究了博世（Bosch）工艺的工艺参数及清洗工艺对刻蚀结果的影响。通过调节工艺参数（包括SF6气体的流量、工艺气压、上电极（Source）功率、下电极偏压（bias）功率、C4F8钝化切换时间
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本文研究了博世（Bosch）工艺的工艺参数及清洗工艺对刻蚀结果的影响。通过调节工艺参数（包括SF6气体的流量、工艺气压、上电极（Source）功率、下电极偏压（bias）功率、C4F8钝化切换时间）研究其对刻蚀速率、选择比及刻蚀形貌的影响，得到了工艺参数的一般性规律及本实验的最佳工艺条件，刻蚀速率1．77μm／min，选择比为r91．23，深槽CD差在-0．2μm左右，刻蚀形貌为倒梯形且接近垂直。同时对干法清洗工艺进行了研究，解决长草异常的同时，提供了一种深槽刻蚀工艺维护的方法。
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