博世工艺相关论文
介绍了一种博世(Bosch)工艺深槽刻蚀后的侧壁平坦化技术。优化深槽刻蚀工艺参数使侧壁扇贝褶皱的尺寸降低至约52 nm,然后在1 100℃......
期刊
本文研究了博世（Bosch）工艺的工艺参数及清洗工艺对刻蚀结果的影响。通过调节工艺参数（包括SF6气体的流量、工艺气压、上电极（Source）功......
