【摘 要】
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采用YAG雷射制程技术制备微流道,不但处理速度快、低污染、低耗费,硅芯片经YAG雷射表面处理后所呈现微流道,实验得出雷射光斑直径受频率及电流强度所控制,随着频率减少及电流
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采用YAG雷射制程技术制备微流道,不但处理速度快、低污染、低耗费,硅芯片经YAG雷射表面处理后所呈现微流道,实验得出雷射光斑直径受频率及电流强度所控制,随着频率减少及电流强度增加而变大,微流道宽度随着频率减少及电流强度增加而变宽,扫描速度对微流道宽度无明显影响。微流道深度随着频率及电流强度增加而变深,随着扫描速度增加而变浅。微流道热影响区在各制程参数下,其影响的变化差异并不明显,微流道表面粗糙度随着频率及电流强度的增加而变大,随着扫描速度的增加而降低,最佳制程参数为扫描速度10mm/s、电流10A及频率1
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