【摘 要】
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结合国内外激光薄膜加工研究结果，从激光与物质相互作用的角度出发，建立激光切割硅薄膜太阳能电池的柱面坐标理论模型。利用Monte Carlo法求得多层薄膜结构的光场分布，进一步用
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室,华中科技大学光电子工程系
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结合国内外激光薄膜加工研究结果，从激光与物质相互作用的角度出发，建立激光切割硅薄膜太阳能电池的柱面坐标理论模型。利用Monte Carlo法求得多层薄膜结构的光场分布，进一步用有限元法（finite element method，FEM）求得柱面坐标下热平衡方程的数值解。得出了能量密度、脉冲形状、重复频率、光斑形状与切割速度以及切割质量之间的关系。
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