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【摘 要】
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多晶硅是单晶硅生产中必不可少的主要原料,硅芯是多晶硅生产过程中生长多晶的载体。而硅芯炉,主要用于生产多晶硅载体-硅芯。硅芯炉是在惰性气氛下,以高频感应加热,采用区熔
【机 构】
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西安理工晶体科技有限公司
【出 处】
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机电产品开发与创新
【发表日期】
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2012年4期
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