【摘 要】
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在集成电路真实缺陷检测中 ,缺陷图像的滤波程度直接影响到后续处理的结果 .通过对若干幅实际集成电路真实缺陷图像的分析 ,提出一种基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤
【机 构】
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西安电子科技大学通信工程学院!陕西西安710071,西安电子科技大学微电子所!陕西西安710071,西安电子科技大学通信工程学院!陕西西安710071
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在集成电路真实缺陷检测中 ,缺陷图像的滤波程度直接影响到后续处理的结果 .通过对若干幅实际集成电路真实缺陷图像的分析 ,提出一种基于数学形态学的集成电路真实缺陷图像滤波方法 ,该方法不仅能滤除非冗余物缺陷 ,而且能滤除冗余物缺陷内部噪声 ,得到纹理一致的冗余物缺陷
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