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简述了现有掩模技术制备磁隧道结的过程;指出了采用定位图形套准模板存在的弊端;介绍了1种将基片固定,利用定位螺栓套准模板的装置.实践表明:采用该装置可显著提高制备磁隧道结的完好率,为纳米多层膜的制备提供了较为可靠的模板套准方法及装置.
用于制备磁隧道结的模板套准新方法及装置
【摘 要】
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简述了现有掩模技术制备磁隧道结的过程;指出了采用定位图形套准模板存在的弊端;介绍了1种将基片固定,利用定位螺栓套准模板的装置.实践表明:采用该装置可显著提高制备磁隧道
【机 构】
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天津理工学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2003年6期
【基金项目】
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天津市教委资助项目
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