【摘 要】
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1 引言随着气体的纯度提高,对水份的控制也越来越严格。目前,测定水份的仪器很多,如WS-1型氧化铝电容式微量水份测定仪(KP-Ⅲ,上海冶金所)、SH-80型光电式露点仪、中科院半
【机 构】
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1 引言随着气体的纯度提高,对水份的控制也越来越严格。目前,测定水份的仪器很多,如WS-1型氧化铝电容式微量水份测定仪(KP-Ⅲ,上海冶金所)、SH-80型光电式露点仪、中科院半导体所的露点仪、电解式水份分析仪等。但是这些仪器不但价格昂贵,而且对气体性质的要求也较严,使用也不太方便。为了解
1 Introduction With the increase of purity of gas, the control of water is more and more strict. At present, there are many instruments for measuring water such as WS-1 alumina capacitive micro-moisture analyzer (KP-III, Shanghai Metallurgical Institute), SH-80 photoelectric dew point meter, Institute of Semiconductors dew point meter, Water analyzer and so on. However, these instruments are not only expensive, but also have strict requirements on the properties of the gas and are not easy to use. To understand
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