【摘 要】
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本文建立了扫描探针显微镜反馈控制器的简化模型和可确定表面轮廓函数与间隙控制电压相互关系的微分方程。本文还介绍了求解带有延迟项的微分方程的数值方法。利用此方法可求
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本文建立了扫描探针显微镜反馈控制器的简化模型和可确定表面轮廓函数与间隙控制电压相互关系的微分方程。本文还介绍了求解带有延迟项的微分方程的数值方法。利用此方法可求解出反馈控制器对各种轮廓函数的响应，总结出各种最佳参数的确定原则。
In this paper, a simplified model of the scanning probe microscope feedback controller and a differential equation that can determine the relationship between the surface profile function and the gap control voltage are established. This article also introduces numerical methods for solving differential equations with delay terms. Using this method, the response of the feedback controller to various contour functions can be solved and the principle of determining the best parameters can be concluded.
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