【摘 要】
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离子镀膜技术的发展与离子枪的研制密切相关,由于应用场合的不同,出现了多种形式的离子枪。本文对各种枪进行了综述和分类,並对各类枪的结构特点、性能、适用范围以及在离子
【机 构】
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上海机械学院仪器仪表分院,上海机械学院仪器仪表分院,
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离子镀膜技术的发展与离子枪的研制密切相关,由于应用场合的不同,出现了多种形式的离子枪。本文对各种枪进行了综述和分类,並对各类枪的结构特点、性能、适用范围以及在离子镀膜技术中的应用进行了讨论。文中特别对于考夫曼枪和磁控溅射轮作了较为详细的介绍、分析,并给出了一些基本曲线。
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