【摘 要】
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组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是
【基金项目】
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国家自然科学基金青年基金项目(11605226,11305202),大装置联合基金项目(U1732120)
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组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点。为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是保证和关键。我们研制了一种棱镜型的高能X射线聚焦组合折射透镜,透镜整体由5280个齿状结构组合而成,最小的特征尺寸为10μm,口径为1.77 mm。利用LIGA技术,成功完成高度为500μm的镍基棱镜型高能X射线组合折射透镜的制备。为保证透镜良好尖角结构,在制备过程中采用电子束直写并且逐步加大掩膜版厚度的方法,先后制备了过渡掩膜版和LIG
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