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自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性
自聚焦平面微透镜阵列的制作及其基本特性
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:AKDelphi
【摘 要】
:
讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺及其基本特性。
【作 者】
:
刘德森
高应俊
朱传贵
宋光年
高凤
姚胜利
闫国安
【机 构】
:
中国科学院西安光机所
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1996年04期
【关键词】
:
自聚焦平面微透镜阵列
光刻离子交换
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讨论了自聚焦平面微透镜阵列的制作工艺及其基本特性。
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