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针对机械谐振对超精密光刻系统的影响,对包含有机械谐振的光刻机宏微运动平台进行辨识来抑制机械谐振。首先建立单自由度宏微耦合运动模型和谐振模型,然后基于递阶辨识原理对机械谐振模型进行分段辨识,最后基于谐振模型设计陷波器,抑制机械谐振。试验结果证明,该方法有效抑制了宏微平台的机械谐振,大幅提高了系统的动态响应性能。