亚微纳科技公司领先推出VERSALISFXP

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kumufengchun

【摘要】

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亚微纳技术公司是一家服务于全球半导体业及相关市场的供应商，主要提供先进半导体生产设备及工艺技术，日期宣布推出VersalisfxP系统。它是一个200／300mm集群系统，专为利用穿硅通

【出处】

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电子工业专用设备

【发表日期】

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2008年9期

【关键词】

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半导体生产设备微纳技术科技三维集成电路半导体业集群系统供应商 P系统

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亚微纳技术公司是一家服务于全球半导体业及相关市场的供应商，主要提供先进半导体生产设备及工艺技术，日期宣布推出VersalisfxP系统。它是一个200／300mm集群系统，专为利用穿硅通孔技术制造三维集成电路而设计。亚微纳公司在开发此类研发用工艺整合解决方案方面处于领先地位，该技术可包含数个不同工序，包括蚀刻、PVD及CVD，

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