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透明导电氧化物（TCO）同时具有良好的金属导电性和较高的可见光透过率，近年来在光电器件领域，特别是平板显示和薄膜太阳能电池上得到广泛的应用。其中In2O3基薄膜应用技术最为成熟。本文主要报道In2O3基薄膜的制备与退火处理的研究现状。
In2O3基透明导电薄膜的生长技术
【摘 要】
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透明导电氧化物（TCO）同时具有良好的金属导电性和较高的可见光透过率，近年来在光电器件领域，特别是平板显示和薄膜太阳能电池上得到广泛的应用。其中In2O3基薄膜应用技术最为成熟
【机 构】
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山东电子职业技术学院,山东师范大学
【出 处】
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价值工程
【发表日期】
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2013年30期
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