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期刊论文
准分子激光刻蚀技术
准分子激光刻蚀技术
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DreamerL
【摘 要】
:
本文介绍了准分子激光刻蚀的基本原理及特点,综述了近年来有重要意义的实验结果。更多还原
【作 者】
:
刘军
【机 构】
:
吉林大学电子科学系集成光电子学联合实验室,吉林大学电子科学系集成光电子学联合实验室130023,130023
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1992年2期
【关键词】
:
刻蚀
准分子激光
excimer laser
etching
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本文介绍了准分子激光刻蚀的基本原理及特点,综述了近年来有重要意义的实验结果。更多还原
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