【摘 要】
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自微电子技术问世以来,人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度的装置,并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等
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自微电子技术问世以来,人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度的装置,并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等领域,不断提出微小型化方面更新更高的要求。著名物理学家,1965年诺贝尔奖获得者理查德·P·范曼(Richard P·Feynman),在1959年12月的美国物理学会年会上,以
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