加工中测量表面粗糙度的传感器及其应用

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本文描述了有潜力的加工中测量表面粗糙度的非接触光学法,它包括:反射光位置检测法、聚焦点误差检测法、光纤法和光学杠杆法。用这些方法测得的结果与机械式轮廓仪测得的比较,十分符合。可是,细铁屑、切削液和机床振动妨碍了加工中测量的精度或可行性。 This paper describes a promising non-contact optical method for measuring surface roughness in machining, which includes: reflected light position detection, focus error detection, optical fiber method and optical lever method. The results measured with these methods are in good agreement with those measured with a mechanical profilometer. However, fine iron filings, cutting fluids and vibrations of the machine prevent the accuracy or feasibility of the measurement in machining.
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