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介绍了一种基于横向金属接触的DC-5GHz单刀双掷RF MEMS开关的研究与设计．横向金属接触开关包括了一套有限的共面波导（FGCPW）传输线和左右摆动的悬臂梁．为了降低开启电压，设计了一种曲折型的折叠梁结构，通过理论分析与仿真实验验证了该结构的可行性，并利用MetalMUMPs工艺加以实现．测试结果显示，该开关在5GHz处的插入损耗为0．8dB，回波损耗大于20dB，隔离度为40dB．测得最低开启电压为33V．