30．4nm光电成像系统分辨率的初步实验研究

来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dextersky001

【摘要】

：

本文基于微通道板MCP(Microchannel Plate)探测器件设计一套成像系统,用于对波长为30.4 nm的极紫外EUV(Extreme Ultraviolet)光进行成像.结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,

【作者】

：

薛玲玲陈波石晓光薛国俊

【机构】

：

中国科学院长春光机与物理研究所

【出处】

：

量子电子学报

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

微通道板 MCP 探测器光电成像系统分辨率激光等离子体单色仪 extreme ultraviolet laser-produced plasma m

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本文基于微通道板MCP(Microchannel Plate)探测器件设计一套成像系统,用于对波长为30.4 nm的极紫外EUV(Extreme Ultraviolet)光进行成像.结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像,实验测得490μm的成像系统的空间分辨率,并分析了影响系统分辨率的各种因素及为提高系统分辨率所应采取的措施.

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