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期刊论文
溅射过程的Monte Carlo方法模拟计算
溅射过程的Monte Carlo方法模拟计算
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hhbsoftware
【摘 要】
:
运用Monte Carlo方法对溅射过程进行了模拟计算,其结果清楚地描述了溅射的微观过程,溅射产额的计算值与实验值吻合。
【作 者】
:
单慧波
姜恩永
【机 构】
:
天津大学物理系,天津大学物理系
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
1989年2期
【关键词】
:
溅射过程
MONTE
Carlo
模拟计算
sim ulation
Monte Carlo
sputter process
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运用Monte Carlo方法对溅射过程进行了模拟计算,其结果清楚地描述了溅射的微观过程,溅射产额的计算值与实验值吻合。
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