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运用Monte Carlo方法对溅射过程进行了模拟计算,其结果清楚地描述了溅射的微观过程,溅射产额的计算值与实验值吻合。
溅射过程的Monte Carlo方法模拟计算
【摘 要】
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运用Monte Carlo方法对溅射过程进行了模拟计算,其结果清楚地描述了溅射的微观过程,溅射产额的计算值与实验值吻合。
【机 构】
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天津大学物理系,天津大学物理系
【出 处】
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天津大学学报
【发表日期】
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1989年2期
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