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对于光学镀膜零件,玻璃基底的清洁程度是影响镀膜产品表面质量的关键因素之一,保障光学零件表面镀膜前的洁净度,可以降低薄膜内的杂质污染物,因此镀膜前光学零件的超声波清洗至关重要。本文概述超声波清洗机理,介绍超声波清洗设备、超声波清洗溶剂的选择和超声波清洗工艺的应用,以及超声波清洗疵病分析方法。