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薄膜型热释电红外探测器的发展
薄膜型热释电红外探测器的发展
来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kathleen350191539
【摘 要】
:
介绍了薄膜型热释电红外探测器的性能特点和工作原理。从材料选择,器件结构和制备工艺综述了近几年国内外的研究成果及发展动态,并对器件的主要应用进行了总结。
【作 者】
:
陈实
刘梅冬
【机 构】
:
华中理工大学电子科学与技术系
【出 处】
:
压电与声光
【发表日期】
:
1999年5期
【关键词】
:
薄膜
热释电
红外探测器
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介绍了薄膜型热释电红外探测器的性能特点和工作原理。从材料选择,器件结构和制备工艺综述了近几年国内外的研究成果及发展动态,并对器件的主要应用进行了总结。
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