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巨磁电阻自旋阀多层膜作为磁敏传感器材料与磁随机存储器(MRAM)材料,具有高的可靠性与灵敏度,在航空航天等高科技领域有着极大的应用前景.研究多层膜各层间的耦合效应与各层厚度、磁学性能之间的内在关系,对提高自旋阀的巨磁电阻效应、磁灵敏性等具有重要的作用.本研究采用磁控溅射沉积制备了(Cu/Co、Cu/NiFe, Ta/NiFe双层膜与 Co/Cu/Co、Co/Cu/NiFe、Co/Ta/NiFe)三明治结构薄膜.采用振动样品磁强计对薄膜磁性、四探针法对薄膜磁阻性能进行了测试研究,采用洛仑兹电子显微镜法观察了