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Deposition of Ti-Si-N coatings in deep blind-hole with pulsed dc power

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Cskn__ZHANG
【摘 要】
：
Multiphase nanocomposite Ti-Si-N coatings deposited by pulsed dc plasma enhanced chemical vapor deposition technique on the surface of HSS substrate, which were
【作 者】
：
MA Da-yan MA Sheng-li XU Ke-we 
【机 构】
：
StateKeyLaboratoryforMechanicalBehaviorofMaterials
【出 处】
：
中国有色金属学会会刊：英文版
【发表日期】
：
2004年z1期
【关键词】
：
NANOCOMPOSITE PULSED dc PCVD TI-SI-N DEEP blind-hole 
【基金项目】
：
Project (2001AA338010) supported by the Hi-tech Research and Development Program of China, projects (50271053,50371067) supported by the National Natural Science Foundation of China, project supported
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Multiphase nanocomposite Ti-Si-N coatings deposited by pulsed dc plasma enhanced chemical vapor deposition technique on the surface of HSS substrate, which were bolted with deep blind-hole to simulate the complexshaped surface of various tools, were inves
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