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压电驱动技术可实现电极直接驱动进行电火花加工,该技术可以广泛地用于航天航空、精密模具、医疗器械等领域中微型器件或异形微小孔的加工.介绍几种典型的压电驱动技术,如椭圆式电火化加工技术、基于超声马达的电火化加工技术、蠕动式电火花加工技术.为提高电火花加工的效率、缩短加工时间,提出在压电驱动技术的基础上进一步在加工电极上附加超声振动,为该项新技术的发展提供了启示.