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按照多光束干涉理论,计算模拟了激光偏振变化对干涉光强分布的影响。通过调节三光束的偏振组合,得到了不同形状的干涉光强分布图样。利用偏振调节的飞秒激光三光束干涉烧蚀ZnO晶体,在样品表面制备了各种微米空腔、微米凸起等形状各异的二维周期结构。实验结构与理论模拟结果吻合良好。偏振调节的三光束干涉技术能够有效地调谐表面结构形状,极大地丰富了激光干涉技术的多样性。