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以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯ２薄膜，经１０００℃，Ｈ２气氛下还原制得ＴｉＯ２－ｘ薄膜。最后在氯铂酸－甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜。本文分析了铂在薄膜中的作用原理。
掺铂TiO2—x氧敏薄膜的制备和性能
【摘 要】
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以钛酸丁酯和无水乙醇分别为原料和溶剂，添加适量稳定剂制成稳定溶胶，用浸涂法在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯ２薄膜，经１０００℃，Ｈ２气氛下还原制得ＴｉＯ２－ｘ薄膜。最后在氯铂酸－甲醛溶液中浸泡得到掺铂薄膜。本文分析了
【机 构】
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天津大学材料科学与工程学院
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1999年11期
【基金项目】
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天津自然科学基金,国家“863”高技术计划新材料领域基金
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