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研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高,磨损量最小。
PCVD法TiN,TiCN涂层工艺研究
【摘 要】
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研究了四氯化钛、氮气、甲烷通入量对 PCVD 法沉积 TiN、TiCN 涂层硬度、沉积速率以及颜色的影响,进行了磨损试验。结果表明,不同色泽的 TiN 膜中,以金黄色 TiN 涂层硬度最高
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所,青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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青岛化工学院学报：自然科学版
【发表日期】
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1993年4期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助课题
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