488nm连续激光晶化本征非晶硅薄膜的喇曼光谱研究

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利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同激光功率密度和扫描时间下的晶化状态进行了表征,并用514nm波长与488nm波长对样品的晶化效果进行了比较.测试结果显示:激光照射时间60s,激光功率密度在1.57×105 W/cm2时,能实现非晶硅向多晶硅的转变,在功率密度达到2.7 56×105 W/cm2时,有非晶开始向单晶转变,随着激光功率密度的继续增加,晶化结果仍为单晶;在功率密度为2.362&#
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