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期刊论文
薄膜热印头研制
薄膜热印头研制
来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z123098281
【摘 要】
:
论述了一种高分辨率、高清晰度、快速打印的薄膜热印头的结构、设计和制造技术,主要研究Ta2N、SiO2和Ta2O5薄膜的性能对薄膜热印头的影响
【作 者】
:
张生才
申云琴
齐建华
陈德里
牛秀文
孙锡兰
【出 处】
:
天津大学学报
【发表日期】
:
1997年03期
【关键词】
:
印头
反应溅射
氮气分压
高分辨率
象素点
制造技术
温度系数
氮分压
制造工艺流程
电阻层
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论述了一种高分辨率、高清晰度、快速打印的薄膜热印头的结构、设计和制造技术,主要研究Ta2N、SiO2和Ta2O5薄膜的性能对薄膜热印头的影响
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