【摘 要】
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以聚焦的A_r~+激光束诱导多晶硅膜的淀积,在可移动的反应器上实现了宽度小于激光束径的多晶硅精细线条的直接书写。这可以视为VLSI的一种新的布线工艺的雏形。
The polycrys
【机 构】
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河北大学电子系,河北大学电子系,河北大学电子系,河北大学电子系,河北大学电子系
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以聚焦的A_r~+激光束诱导多晶硅膜的淀积,在可移动的反应器上实现了宽度小于激光束径的多晶硅精细线条的直接书写。这可以视为VLSI的一种新的布线工艺的雏形。
The polycrystalline silicon film was induced by the focused A_r ~ + laser beam, and direct writing of polycrystalline fine lines with width less than the laser beam diameter was achieved on the movable reactor. This can be seen as a prototype of a new wiring technology for VLSI.
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