六维宏微位移可控精密工作台的研制

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：now3th

【摘要】

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研制了一种六维宏微位移可控精密工作台.设计中采用粗精分离的原则,有利于提高工作台的精度,并减小了研制难度.宏位移使用精密燕尾导轨结构.微定位系统使用了压电陶瓷驱动器

【作者】

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施宁平凌宁

【机构】

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中国科学院光电技术研究所

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

精密工作台控制系统柔性铰链压电陶瓷驱动器 Precision operating stage Control systems Flexure hinge

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研制了一种六维宏微位移可控精密工作台.设计中采用粗精分离的原则,有利于提高工作台的精度,并减小了研制难度.宏位移使用精密燕尾导轨结构.微定位系统使用了压电陶瓷驱动器、柔性铰链和计算机控制,使系统具有极高精度的补偿定位能力.该工作台可在100mm范围内运动,平移分辨力为0.05(m,转动分辨力为0.3″.

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