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以甲醇对氯甲基三氯硅烷（Cl3SiCH2Cl）进行烷氧化反应,然后经过格氏偶联反应和还原反应,制备了低氧含量液态超支化聚碳硅烷（HBPCS）。通过凝胶渗透色谱法（GPC）、核磁共振（NMR）以及元素分析对由此制备的HBPCS进行表征。结果表明,提高烷氧化比例,可以有效抑制溶剂四氢呋喃开环的副反应,降低先驱体氧含量。通过热失重分析（TGA）和X射线衍射（XRD）分别对HBPCS的热性能及相应陶瓷在高温下的结晶行为进行研究。