【摘 要】
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作为微电子领域中的高技术产品——DY-3型圆型电子束曝光机已于88年3月2日通过院级鉴定。该系统采用了国际上同类机中的先进技术,如:电子光学系统,电子束图形发生器,背散射
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作为微电子领域中的高技术产品——DY-3型圆型电子束曝光机已于88年3月2日通过院级鉴定。该系统采用了国际上同类机中的先进技术,如:电子光学系统,电子束图形发生器,背散射电子检测器,激光自动跟踪系统,实时磁盘操作系统,无油高真空系统等。它具有较完
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