【摘 要】
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利用SBS作为相位共轭镜,对宽带KrF自由振荡激光器的光束质量进行了改善。在KrF激光能量为36mJ,脉宽为13.7ns,束散角为9.5倍衍射限的条件下,获得输出能量为20.8mJ,脉宽为4.3ns,束散
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利用SBS作为相位共轭镜,对宽带KrF自由振荡激光器的光束质量进行了改善。在KrF激光能量为36mJ,脉宽为13.7ns,束散角为9.5倍衍射限的条件下,获得输出能量为20.8mJ,脉宽为4.3ns,束散角为6.4倍衍射限的高光束质量宽带KrF激光。
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