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  5. Synthesis of amorphous carbon nitride by ion implantation

Synthesis of amorphous carbon nitride by ion implantation

来源 :中国科学：数学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhougtz
【摘 要】
：
N<sub>2</sub><sup>+</sup> were implanted into diamondlike carbon （DLC） films in an attempt to synthesizeamorphous carbon nitride. The DLC films were previously de
【作 者】
：
ChenZ. OlofinjanaA. BellJ 
【机 构】
：
School,SchoolofMechanical,Manufacturing&,MedicalEngineeringQueenslandUniversityofTechnology,Garde
【出 处】
：
中国科学：数学英文版
【发表日期】
：
2001年S1期
【关键词】
：
ION IMPLANTATION AMORPHOUS CARBON NITRIDE surface MODIFICATION ion implantationa 
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N<sub>2</sub><sup>+</sup> were implanted into diamondlike carbon （DLC） films in an attempt to synthesizeamorphous carbon nitride. The DLC films were previously deposited on steel substrate by using anion beam sputtering deposition
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