QCM传感器性能的有限元仿真分析

来源 :东北师大学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cuidayue

【摘要】

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由于QCM传感器频率高、振幅小的振动难以观察,无法分析电极对传感器性能的影响.针对这一问题,通过引入了通用有限元分析软件ANSYS,在Workbench平台上建立石英晶片厚度剪切振

【作者】

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王娇杨王连明

【机构】

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东北师范大学物理学院

【出处】

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东北师大学报：自然科学版

【发表日期】

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2018年3期

【关键词】

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压电效应 QCM 厚度剪切振动 ANSYS piezoelectricity QCM thickness-shear vibration ANSYS

【基金项目】

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国家自然科学基金资助项目（21227008）

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由于QCM传感器频率高、振幅小的振动难以观察,无法分析电极对传感器性能的影响.针对这一问题,通过引入了通用有限元分析软件ANSYS,在Workbench平台上建立石英晶片厚度剪切振动模式模型,分析了不同尺寸电极对QCM传感器性能的影响.仿真结果表明：电极直径增加会导致石英晶体的谐振频率下降;电极尺寸过大过小都容易导致寄生模干扰加强.

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