【摘 要】
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论述了一种对阳极氧化铝膜孔径进行测定和评估的方法。此方法通过对已得的阳极氧化铝薄膜提取样本制备扫描电镜（SEM）图像进行处理和分析,最终得到膜孔的尺寸结果。阳极氧化铝膜
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论述了一种对阳极氧化铝膜孔径进行测定和评估的方法。此方法通过对已得的阳极氧化铝薄膜提取样本制备扫描电镜（SEM）图像进行处理和分析,最终得到膜孔的尺寸结果。阳极氧化铝膜的膜孔尺寸处在nm级别,对其测量误差的要求很高。而限于SEM的设备特性和精度,通过SEM读取的原始阳极氧化铝膜的图像存在着大量噪声（以椒盐噪声为主）。鉴于此,首先对阳极氧化铝膜的原始SEM图像进行多重滤波处理（中值滤波、各向异性扩散滤波以及阈值滤波）,得到具有膜孔结构信息的阈值图像。经过多重滤波的这一阈值图像仍存在着很多污点,这些污点对阳极
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