太阳能电池单晶Si表面织构化的工艺改进

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【摘要】

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通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对〈100〉晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na3PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的

【作者】

：

闫宝华檀柏梅刘玉岭孙增标申晓宁张研

【机构】

：

河北工业大学微电子研究所

【出处】

：

微纳电子技术

【发表日期】

：

2009年11期

【关键词】

：

单晶硅太阳电池电化学清洗绒面各向异性腐蚀转换效率 monocrystalline silicon solar cell electrochemical

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通过实验分析Na2SiO3和Na3PO4混合溶液对〈100〉晶向的单晶Si片的各向异性腐蚀过程,探讨了Na2SiO3溶液和Na2SiO3、Na3PO4混合溶液对表面织构化的影响机制,并且对制绒前Si片的电化学清洗过程和混合溶液的反应温度和反应时间等参数的变化对金字塔绒面微观形貌的影响做了分析。最终通过大量实验得到,用质量分数为4%的Na2SiO3和2%的Na3PO4混合溶液在78℃腐蚀60min,单晶Si片表面可获得最佳反射率为11.98%的减反射绒面。单晶Si片表面的反射率优于单独使用Na2SiO3溶液

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