【摘 要】
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本文主要研究用离子束辅助沉积(IBAD)和磁控溅射不同沉积技术在9Cr18钢材上沉积软金属银固体润滑膜。用百格刀划格法、SEM和MS-T3000多功能摩擦磨损仪等测试方法测试沉积银膜
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本文主要研究用离子束辅助沉积(IBAD)和磁控溅射不同沉积技术在9Cr18钢材上沉积软金属银固体润滑膜。用百格刀划格法、SEM和MS-T3000多功能摩擦磨损仪等测试方法测试沉积银膜与基材间的结合力、银膜的显微结构和摩擦磨损性能等。结果表明,与磁控溅射沉积技术相比,IBAD技术制备的银膜形成一层化学冶金结合与机械啮合结合的过渡层,可提高膜层与基材的结合力,增加膜层的耐磨性。
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