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Mevva离子源具有束流强、离子种类多、引出电压高以及多孔大面积引出的特点,Mevva强流金属离子注入被誉为新一代的离子注入技术.本......
等离子浸没离子注入过程中,由于电路和负载的容性效应,使高压脉冲电源的输出电压前后沿较长,而高压脉冲的前后沿对离子能量的均匀......
航天航空精密轴承失效的主要原因是其工作表面被磨损和腐蚀,采用先进的表面改性手段可强化其工作表面,提高轴承工作可靠性,延长其......
1、产品及其简介rnM5525 100-1/UM型大角度离子注入机可满足100纳米,8英寸集成电路制造工艺的要求,适合源漏区的大角度晕、袋、栅......
报道了应用双指数函数对大注量氧注入硅的背散射谱进行拟合,成功地分离出注入的氧峰.数据处理结果表明,氧注量的均匀性以标准偏差......
提高金属蒸汽真空弧（Metal vapor vacuum arc，MEVVA）离子源注入机的注入效率，大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。......
会议
阐述等离子喷淋技术的工作原理,在离子注入工艺上的应用;分析等离子喷淋器对注入工艺中的电荷累积以及注入均匀性改善。并提出在先......
