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衍射光强取样分析法测定划痕宽度:理论部分
衍射光强取样分析法测定划痕宽度:理论部分
来源 :光学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xjy_1666
【摘 要】
:
在理论上分析了截面为矩形,三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性,并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射及粗糙度散射光的干扰提
【作 者】
:
戴名奎
徐德衍
【机 构】
:
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理实验
【出 处】
:
光学学报
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
衍射光强分布
实际宽度
等效线宽
diffraction pattern
real width
lineequivalent width.
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在理论上分析了截面为矩形,三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性,并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射及粗糙度散射光的干扰提出了有效的措施。
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