衍射光强取样分析法测定划痕宽度:理论部分

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在理论上分析了截面为矩形,三角形和余弦形的划痕的衍射花样的相似性,并在此基础上提出了一种测定划痕宽度的衍射光强取样分析法。本文还就消除光阑衍射及粗糙度散射光的干扰提出了有效的措施。
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