CVD金刚石在电真空器件中的应用

来源 :电子陶瓷、陶瓷-金属封接与真空开关管用陶瓷管壳应用研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:FlamesTsui
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介绍了化学气相沉积(CVD)金刚石膜应用于电真空器件夹持杆及输能窗方面的研究进展,以及国外对CVD金刚石封接技术解决方案以及国内CVD金刚石膜金属化及封接方面的研究情况.
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