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文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用。从半导体生产测量的特点入手,阐述了利用CBIR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义,在此基础上提出了下一步工作进展的方向,以实现用数字化指导生产实践的目标。
CBIR在半导体测量中的应用
【摘 要】
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文章简要讨论了CBIR在半导体测量中的应用。从半导体生产测量的特点入手,阐述了利用CBIR进行半导体某些参数测量的可能性和实际意义,在此基础上提出了下一步工作进展的方向,以实现用数字化指导生产实践的目标。
【机 构】
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西北工业大学明德学院
【出 处】
：
中国高新技术企业
【发表日期】
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2010年01期
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